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铝蚀刻加工的介绍？

2023-05-11 10:01

任何一个东西和产品的出现，都是因为它有着其他东西无法比拟的优势，那么铝蚀刻加工也不例外。这里我们就来详细的介绍一下铝蚀刻加工的一些内容，来跟着小编一起了解一下吧。希望对大家有所帮助。

铝蚀刻加工中铝金属蚀刻通常使用以下气体：Cl2、BCl3、Ar、N2、CHF3和C2H4等。当主要气体燃烧时，Cl2与铝发生化学反应，挥发性AlCl3的副产物通过气流。一方面，BCl3提供对硅片表面的垂直轰击，实现各向异性刻蚀。另一方面，由于铝表面容易被氧化成氧化铝，这层自生氧化铝在蚀刻初期阻止了Cl2与铝的接触，从而阻碍了蚀刻的进一步进行。添加BCl3有利于减少这层氧化层，促进刻蚀过程的继续进行。

铝蚀刻加工中各向异性蚀刻圆可以用两种机制来解释，表面损伤和侧壁钝化。表面损伤机制是指待刻蚀物质的模型底部与硅片平行，表面原子键被破坏，此处扩散的自由基很容易与其发生相互作用，从而使刻蚀能够.继续朝这个方向发展。铝蚀刻加工中由于表面原子键的完整性，垂直于硅晶片的图案侧面受到保护。侧壁钝化机理是指刻蚀反应产生的不挥发产物，光刻胶刻蚀产生的聚合物，与侧壁表面的氧化物或氮化物，铝蚀刻加工中会在被刻蚀材料表面形成钝化层。地面。模型底部受到离子轰击，钝化层会破裂，露出里面的待刻蚀材料继续反应，而模型侧面的钝化层较少受到离子轰击，阻止进一步刻蚀。在这个方向。

铝蚀刻加工中蚀刻圆还可以根据被蚀刻材料的种类进行分类。根据材料，刻蚀主要分为金属刻蚀、介质刻蚀和硅刻蚀三种。介电蚀刻用于蚀刻介电材料，例如二氧化硅。接触孔的制作和孔的结构需要蚀刻介质在ILD中蚀刻窗口，并且蚀刻具有高纵横比（窗口的深度与宽度的比率）的窗口是具有挑战性的。蚀刻硅（包括多晶硅）用于需要去除硅的地方，例如蚀刻多晶硅晶体管和硅沟槽电容器的栅极。金属蚀刻主要是去除金属层上的铝合金化合物层，制作互连线。

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